全部作者：王世軍 馬慧蓮 金仲和第1作者單位：浙江大學資訊與電子工程系論文摘要：諧振式微光陀螺（R-MOG）是基於Sagnac效應的1種高精度的慣性傳感器。計算顯示作爲R-MOG的核心敏感器件的'環形諧振腔在損耗允許的前提下引入多圈結構可以提高陀螺的極限靈敏度。利用低壓化學氣相沉積技術首次設計加工了兩圈硅基光波導環形諧振腔。測試表明單圈和兩圈光波導環形諧振腔的清晰度分別爲50.8和20.0，清晰度的下降是由於0.899dB的大交叉點損耗引起的。進1步分析可知，當多圈環形諧振腔的交叉損耗減小到0.3dB時，透過引進多圈結構就能獲取光波導環形諧振腔的極限靈敏度。關鍵詞：諧振式微型光學陀螺；波導環形諧振腔；交叉波導；極限靈敏度 (瀏覽全文)發表日期：2008年01月16日同行評議：
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